微軟注資 Lace 挑戰 ASML
總部位於挪威的 Lace 公司獲得微軟旗下創投領投的 4,000 萬美元 A 輪融資，開發非光學曝光的氦原子數工具。
替代方案！台積電不買單ASML！？極紫外光(EUV)危險了！？新創Lace用氦原子束挑戰ASML！
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這部在講什麼新聞財經
介紹挪威新創 Lace 研發的「氦原子物質波微影技術」，如何透過微軟資助與 1 奈米以下的解析度潛力，挑戰 ASML 在半導體設備的壟斷地位。
影響鏈
事件、影響與風險意義優先，時間戳用來導航
EUV 的隨機效應與散粒雜訊
極紫外光（EUV）因波長短、單一光子能量高，導致光子數量減少並產生分布不均的「散粒雜訊」，限制了圖案的精準度。
介穩態氦原子的能量釋放
利用高能量的介穩態氦原子撞擊光阻，回歸基態時釋放約 20 電子伏特的能量觸發化學反應，波長僅 0.1 奈米且能量適中。
解析度可達細原子等級
實驗證實透過 15 奈米孔徑的模板光罩，可產生半間距低於 1 奈米的圖案，且理論上限可縮小至 10 倍以上。
模板式光罩與 AI 反向設計
採用 10-20 納米厚的氮化矽薄膜製作「模板式光罩」，並結合 AI 技術反向推算複雜的幾何圖案。
2029 年進入試點測試
Lace 目前已擁有原型機，計畫於 2029 年在晶圓廠進行四點測試，試圖克服高產能與量產材料的挑戰。
看完可以做什麼
追蹤 Lace 公司於 2029 年的四點晶圓廠測試進度，評估其對 ASML 長期市佔的威脅。需要留意：此技術尚處於實驗原型階段，雖有 1 奈米解析度潛力，但大規模量產所需的特殊材料、光學技術與良率仍有待驗證。
生成於 2026-07-11
檢舉
觀眾怎麼看
整理 28 則有效留言信心 高觀眾對新創技術挑戰ASML持高度懷疑，主要質疑其量產能力與商業可行性。
多數觀眾認為該技術產能遠不及ASML，僅能視為實驗室玩具，難以應用於高良率的商業化量產。
觀眾質疑為何由軟體公司微軟投資，而非台積電或半導體設備大廠，認為缺乏產業鏈支持。
指出氦氣資源稀缺且成本高昂，且現有光學微影技術仍有改善空間，未必需要完全更換製程。
部分觀眾樂見有新創公司挑戰ASML的壟斷地位，認為市場不應由單一廠商獨霸。
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